微纳加工基础技术与方法

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近年来，我国的精密和超精密加工技术获得了很大的发展，超精密切削技术已经有较多的应用，超精密机床已研制成功，多种精度很高的精密机械和仪器已能生产，微加工技术也已发展到相当水平，但都没有形成批量制造能力。高校的机械制造专业面临改革，要求更新教学内容，增设新课程，以跟上机械制造技术的发展。很多高校为研究生设立了超精密加工技术的课程，同时也为本科生新设了超精密加工的选修课，《微纳加工基础技术与方法》一书的笔者为此编写了本书。

内容简介

本书系统介绍了各种精密加工方法，将超精密微加工法和表面加工方法的基础原理和技术做了融合。全书共分为十一章，主要介绍了激光束加工方法、电子束加工方法、离子束加工方法、其他粒子束加工方法、化学刻蚀法、放电加工等基本方法；并介绍了精密加工所涉及的主要表面处理技术，包括表面处理沉淀法、离子束表面处理法、溅射法、化学气相沉积法和精密镀等。

目录

1 绪论

1.1 微加工技术的发展进程

1.2 发展现状

1.3 技术内涵

1.4 微纳加工技术

2 激光束加工方法

2.1 激光束加工常用光源

2.2 加工用激光器的种类和光束聚光

2.3 YAG激光加工

2.4 准分子激光加工

2.5 激光应用加工

3 电子束加工

3.1 电子束加工原理

3.2 钻孔

3.3 电子束光刻

4 离子束加工

4.1 离子束加工原理

4.2 离子束装置

4.3 离子注入技术及装置

4.4 特殊形状加工

5 其他粒子束加工方法

5.1 高速原子束加工

5.2 静电加速粒子束加工

5.3 电液束加工

6 化学刻蚀法基础

6.1 化学刻蚀的定义和加工原理

6.2 晶圆刻蚀工艺

6.3 刻蚀技术

7 放电加工的基本方法

7.1 放电加工原理

7.2 电火花线切割加工

7.3 复合加工

8 物理气相沉积

8.1 引言

8.2 物理气相沉积过程及特点

8.3 真空蒸发镀膜

8.4 溅射镀膜

8.5 离子镀膜

9 化学气相沉积

9.1 概述

9.2 化学气相沉积的基本原理

9.3 化学气相沉积法的应用

9.4 物理化学气相沉积法

10 溅射

10.1 溅射覆膜基础

10.2 辉光放电溅射

10.3 溅射分类及机理

10.4 用于覆膜的溅射类型

11 精密镀

11.1 引言

11.2 电镀

11.3 电镀的基本构成

11.4 预处理

11.5 电铸

11.6 涂镀加工

11.7 无电解电镀

11.8 塑料电镀

11.9 陶瓷上的电镀

11.10 复合镀加工